四氟化碳分析氦离子色谱仪适用于高纯四氟化碳中痕量杂质的检测，zui小检测浓度可达5ppb。四氟化碳分析氦离子色谱仪配备高灵敏的氦离子化检测器，采用*的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，保证不同底气的样品的进样量一致。
四氟化碳分析氦离子色谱仪适用于高纯四氟化碳中H2、O2（Ar）、N2、CH4、CO、CO2、SF6、C2F6、C3F8等痕量杂质的检测，仪器配备高灵敏度的氦离子化（PDHID）检测器，采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，通过无死体积取样或在线进样方式，一次性完成高纯氨中杂质的检测，检测限达ppb级，重复性RSD≤1％。