氪分析用氦离子色谱仪的用途主要是对电子工业用气体中的痕量杂质进行检测。
它可以分析高纯氢、氧、氩、氮、氦、氖、氪、氙、二氧化碳等气体中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2等常见杂质或C1-C4等碳氢化合物的含量，最小检测浓度可达5ppb，具有痕量杂质检测的能力。
氪分析用氦离子色谱仪原则上可以检测除氖气以外所有物质。根据实际需要，可以通过选用不同色谱柱测定多种高纯气体中的多种杂质气体成分，还可以配接毛细管柱，扩大分离效能，检测更多种成分。
注意点：
1.仪器的接地很重要，必须保证仪器及人员的安全。
2.仪器的气路应采用高纯度气体，进气口应加装气体过滤器。
3.仪器的气路管道尽可能短，以减少气体流动阻力。
4.氦离子化气相色谱仪的进样口温度应高于室温，以防止气体凝结在进样口上。
5.在使用过程中，应严格按照操作规程操作，否则会造成仪器损坏或人员伤亡。
6.在使用过程中，应注意观察仪器的工作状态，发现问题应及时处理。
7.仪器应放置在干燥、通风、无腐蚀性物质的环境中，避免阳光直射。